|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Тезисы Всероссийской научно технической конференции Микро и наноэлектроника-2001 Звенигородсборник
- Год издания: 2001
- Том: 2
- Сборник тезисов
- Добавил в систему: Васильева Анна Николаевна
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 2001 Геликонный источник плазмы
- Васильева А.Н., Ковалев А.С.
- в сборнике Тезисы Всероссийской научно технической конференции Микро и наноэлектроника-2001 Звенигород, том 2, тезисы, с. 48-49