SPIE proceedingsсборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• 
  • 2016 Controlling bridging and pinching with pixel-based mask for inverse lithography
  • Кобельков С.Г., Tritchkov Alexander, Han JiWan
  • в сборнике SPIE proceedings, серия Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography, том 9778, с. 1-9 DOI