|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Физические основы ионно-лучевого легирования. Тезисы докладов научной конференциисборник
- Год издания: 1971
- Место издания: Горьковский исследовательский физико-технический институт Горький
- Сборник тезисов
- Добавил в систему: Эльтеков Виталий Анатольевич
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 1971 Расчет профиля распределения ионов бора, внедренных в монокристалл кремния, методом численного моделирования
- Эльтеков В.А., Карпузов Д.С., Мартыненко Ю.В., Рубаха Е.А., Симонов В.А., Юрасова В.Е.
- в сборнике Физические основы ионно-лучевого легирования. Тезисы докладов научной конференции, место издания Горьковский исследовательский физико-технический институт Горький, тезисы, с. 7-7