|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Proceedings of the First International Symposium on Chemical Mechanical Planarizationсборник
- Год издания: 1997
- Место издания: The Electrochemical Society Pennington, New Jersey
- Добавил в систему: Голубцов Петр Викторович
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 1997 Wafer shape measurement and its influence on Chemical Mechanical Planarization
- Yuan Zhang, Paul Parikh, Peter Golubtsov, Brian Stephenson, Mike Bonsaver, Junedong Lee, Mel Hoffman
- в сборнике Proceedings of the First International Symposium on Chemical Mechanical Planarization, место издания The Electrochemical Society Pennington, New Jersey, с. 91-96