|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Photon Processing in Microelectronics and Photonics IIсборник
- Год издания: 2003
- Место издания: SPIE
- Добавил в систему: Лукьянчук Борис Семенович
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 2003 Laser-assisted nanofabrication
- Hong Ming Hui, Huang Su Mei, Luk'yanchuk Boris S., Wang Zeng Bo, Lu Yong Feng, Chong Tow Chong
- в сборнике Photon Processing in Microelectronics and Photonics II, место издания SPIE, с. 142-155 DOI