|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
МЭС-2020сборник
- Год издания: 2020
- Место издания: FSFIS Institute for Design Problems in Microelectronics RAS
- Сборник тезисов
- Добавил в систему: Никишин Игорь Игоревич
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 2020 Possibilities of metrological systems of atomic force microscopy for research, development and control of parameters of micro and nanoelectronic products
- Bykov V.A., Bykov A.V., Bobrov Y.A., Kotov V.V., Leesment S.I., Polyakov V.V.
- в сборнике МЭС-2020, место издания FSFIS Institute for Design Problems in Microelectronics RAS, тезисы, с. 187-192 DOI