|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE) / MICRO- AND NANOELECTRONICS 2003сборник
- Год издания: 2004
- Том: 5401
- Место издания: Zvenigorod, RUSSIA
- Добавил в систему: Двинин Сергей Александрович
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 2004 Microwave discharge on external surface of quartz plate
- Shibkov V.M., Chernikov V.A., Dvinin S.A., Ershov A.P.
- в сборнике PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE) / MICRO- AND NANOELECTRONICS 2003, место издания Zvenigorod, RUSSIA, том 5401, с. 47-54 DOI