ИСТИНА

• Охват: Локальная
• Даты проведения: 20-22 июля 1988
• Место проведения: Lisbon, Portugal
• Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович

Доклады:

• 1988 Changing of oxygen plasma parameters in RF discharge over photoresist surfase (Стендовый)
• Авторы: Malyarov A.V., Gordeev A.I., Yakunin V.G., Savinov V.P., Riaby V.A.

• 1988 The pecualiarities of electron concentration dependence on pressure and gas sort in transversal HF disharge (Стендовый)
• Авторы: Dvinin S.A., Kuzovnikov A.A., Yakunin V.G., Savinov V.P., Malyarov A.V.