![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
С 30 сентября по 3 октября 2019 года на базе ФГБУН Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН) г. Черноголовка (55 км от Москвы), проведена Конференция с международным участием "Электронно-лучевые технологии" - КЭЛТ- 2019. Место проведения - г. Черноголовка, ул. Академика Осипьяна д. 6, ИПТМ РАН . Мероприятие посвящено анализу состояния исследований и разработок в области электронно- и ионно-лучевых технологий и их применений в литографии, наноструктурировании поверхности и получении материалов для микро- и наноэлектроники. Также рассмотрены вопросы применения методов электронной, рентгеновской и зондовой микроскопии для анализа материалов и структур электронной техники. Сообщения рассматривают как новые исследования и разработки, выполняемых в лабораториях институтов РАН и высших учебных заведений, так и задачи диагностики материалов и структур, стоящие перед учёными и инженерами, работающими в электронной промышленности.