ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИПМех РАН |
||
1. Распыление, структура поверхности, десорбция 1. Рассеяние и проникновение ионов 3. Эмиссия ионов электронов, фотонов и рентгеновского излучения при ионной бомбардировке 4. Имплантация ионов и модификация поверхности 5. Ионно-индуцированные процессы в тонких пленках и наноструктурах 6. Взаимодействие плазмы с поверхностью - физика и технология