ИСТИНА

• Охват: Международная
• Даты проведения: 2011
• Место проведения: г. Казань
• Добавил в систему: Якунин Валерий Георгиевич

Доклады:

• 2011 Диагностика приэлектродных слоев пространственного заряда ВЧ емкостного разряда (Устный)
• Авторы: Александров А.Ф., Ковалевский В.Л., Якунин В.Г., Савинов В.П., Рябый В.А.

• 2011 Получение однородной плазмы перед подложкой при использовании подготовительного ВЧЕ разряда (Стендовый)
• Авторы: Рябый В.А., Якунин В.Г., Савинов В.П.