ИСТИНА

Физическое газофазное осаждение и химическое газофазное осаждение (ХГО) являются базовыми современными методами, применяемыми при разработке аддитивных технологий. Указанные методы позволяют создавать на поверхности деталей не требующие дальнейшей обработки многослойные покрытия заданных составов и толщин. Для нанесения покрытий, содержащих тугоплавкие металлы Ta, Mo, Nb и их соединений нами разрабатывается новая методика ХГО, которая имеет ряд преимуществ перед другими методами. В качестве особенностей нашей методики следует отметить относительно низкие температуры осаждения покрытий, а также исключение водорода, кислорода и других «паразитных» примесей из процесса осаждения. В рамках проекта RFMEFI 58214X0005 при финансовой поддержке Минобрнауки (Федеральная целевая программа) к началу 2016 года нами были разработаны и созданы три установки для нанесения покрытий из тугоплавких металлов и их соединений методом ХГО на плоские образцы, образцы сложной формы и трубчатые образцы. Эти установки позволяют проводить натурные эксперименты и решать, как научные, так и технологичные задачи для использования в промышленности.