ИСТИНА

Повышение работоспособности машин и механизмов является одной из основных задач машиностроения (авто, авиа, кораблестроения, судостроения и др.). При этом важнейшим составной частью выполнения указанной задачи является повышение долговечности и надежности узлов трения, а также расширение диапазона их работоспособности по нагрузкам и температурам при одновременном снижении энергетических затрат при эксплуатации.В настоящее время прогресс в этом направлении в значительной мере достигается путем получении материалов в наноструктурном состоянии, что привело к постепенному выделению нового направления в материаловедении — наноструктурное материаловедение. Это в первую очередь обусловлено необходимостью создания материаловедческих основ «инженерии нанопокрытий триботехнического назначения» (конструирования) фазового состава, структуры, субструктуры и напряженного состояния наноструктурных материалов для достижения ими уникальных функциональных свойств. При этом, прежде всего, уникальные свойства наноматериалов определяются их структурой и размером.Возможностью достаточно простого получения наноматериалов с уникальными свойствами обусловлен наблюдаемый в последнее время повышенный интерес к вакуумно-плазменным методам, а также газофазным, лазерным, электронно-лучевым и другим методам получения таких материалов. В настоящей работе преимущественно рассматриваются вакуумно-плазменные методы физического осаждения покрытий (Physical Vapor Deposition (PVD)), которые широко используются в МГУ имени М.В.Ломоносова и ИМАШ имени А.А.Благонравова РАН. Имеющаяся в этой области литература чрезвычайно обширна. Однако вопросы, связанные с закономерностями формирования наноструктуры, получаемой при конденсации материала из ионно-плазменных потоков, носят довольно разрозненный и зачастую противоречивый характер. Поэтому актуальным стал вопрос обзора и анализа в одной работе описания физических и технологических параметров наиболее используемых методов получения наноструктурных материалов.