|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Current-pressure characteristics of dc magnetron discharge for high-rate sputteringдоклад на конференции
- Авторы: Serov A.O., Ryabinkin A.N., Pal A.F., Mankelevich Y.A.
- Международная Конференция : XXX International Conference on Interaction of Intense Energy Fluxes with Matter
- Даты проведения конференции: 1-6 марта 2015
- Дата доклада: 4 марта 2015
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Эльбрус, Кабардино-Балкария, Russia
- Добавил в систему: Серов Александр Олегович