|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
DC magnetron discharge for high-rate sputteringдоклад на конференции
- Авторы: Pal A.F., Mitin V.S., Serov A.O., Ryabinkin A.N.
- Международная Конференция : VIII International Conference Plasma Physics and Plasma Technology PPPT-8
- Даты проведения конференции: 14-18 сентября 2015
- Дата доклада: 15 сентября 2015
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Minsk, Belarus
- Добавил в систему: Серов Александр Олегович