ИСТИНА

Интерес к аморфным оксидам металлов обусловлен их уникальными функциональными свойствами, отличающимися от свойств кристаллических соединений. Аморфные оксиды металлов находят широкое применение в различных областях науки и техники, не только в форме порошков разного функционального назначения, но и тонких пленок, например, как материалов с высокой диэлектрической константой (high-k materials). Аморфные оксидные пленки находят применение и в производстве высокотемпературных сверхпроводящих (ВТСП) проводов 2-го поколения, например, в технологии IBAD (Ion Beam Assisted Deposition). Суть этой технологии состоит в осаждении текстурированных буферных слоев с использованием вспомогательного ионного луча, при этом основным требованием является очень малая шероховатость (1 нм) подложки. Одним из решений этой проблемы является сглаживание поверхности металлической ленты осаждением аморфных пленок Y2O3 из растворов (Solution Deposition Planarization, SDP). Такая техника планаризации основана на использовании золь-гель процесса. В данной работе предложен подход к осаждению аморфных пленок оксида иттрия методом химического осаждения из растворов металл-органических соединений (MO CSD). Он основан на сочетании традиционного комплексообразования, когда прекурсор представляет собой соединение общего состава [M(L)zQn], и некоторых приемов золь-гель метода, а именно введения лигандов, способствующих гидролизу. С целью поиска таких новых прекурсоров изучено взаимодействие ацетата иттрия с тремя аминами (Q): моноэтаноламином (МЕА), этилендиамином (En) и триэтилендиамином (DETA) в среде органических растворителей. Выделенные продукты взаимодействия, общего состава [Y(Acet)3-х(OH)x•Qy] исследованы методами ИК-спектроскопии, ПМР, элементного анализа. Термообработка растворов прекурсоров привела к образованию гелеобразных продуктов, превращение которых в оксид иттрия изучено методом термического анализа. Проведена серия экспериментов по осаждению на металлические ленты различного состава методом погружения (dip-coating) c последующей термической обработкой. Полученные пленки охарактеризованы методами рентгеновской дифракции, оптической, электронной и атомно-силовой микроскопии. Установлена корреляция между качеством поверхности пленки и составом растворов прекурсоров (природа растворителя и нейтрального лиганда), концентрации раствора, условиями осаждения (число циклов нанесения, скорость протяжки ленты, температура предотжига).