|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Контраст и пространственное разрешение фазовых и фазово-растровых масок.доклад на конференции
- Авторы: Рыжикова Ю.В., Белокопытов Г.В.
- Международная Конференция : 7 Международная конференция «Прикладная оптика-2006»
- Даты проведения конференции: 16-20 октября 2006
- Дата доклада: 17 октября 2006
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Санкт-Петербург, Russia
-
Аннотация доклада:
The results of numerical simulation of images produced by phase and phase-raster masks for photolithography and holography are presented. The research of parameters of contrast and critical dimensions of optical images in dependence of numerical aperture and coherence parameters has carried out.
- Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна