|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Влияние зарядового состояния ионов ксенона на распределение по глубине в кремниидоклад на конференции
- Авторы: Балакшин Ю.В., Кожемяко А.В., Назаров А.В., Бабайцев Г.В., Erich M., Черныш В.С., Никифорова П.М., Завильгельский А.Д., Petrovic S., Шемухин А.А.
- Международная Конференция : VII Всероссийская конференция и школа молодых ученых и специалистов «Физические и физико–химические основы ионной имплантации»
- Даты проведения конференции: 7-9 ноября 2018
- Дата доклада: 8 ноября 2018
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Балакшин Ю.В.
- Место проведения: Нижний Новогород, Russia
- Добавил в систему: Балакшин Юрий Викторович