Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Физические параметры плазмы поперечного ВЧ разряда
доклад на конференции
Авторы:
Кузовников А.А.
,
Якунин В.Г.
,
Савинов В.П.
,
Маляров А.В.
Региональная Конференция (Семинар (workshop)) :
Контроль плазменных технолог. проц. в электронике и микроэлектроэлектронике
Даты проведения конференции:
18 февраля 1986
Дата доклада:
18 февраля 1986
Тип доклада:
Стендовый
Докладчик:
не указан
не указан
Кузовников А.А.
Якунин В.Г.
Савинов В.П.
Маляров А.В.
Место проведения:
Минск, Russia
Добавил в систему:
Савинов Владимир Павлович