ИСТИНА

Основными проблемами в области современной микроэлектроники являются существенные ограничения роста производительности и быстродействия логических элементов, высокое тепловыделение в узлах полупроводниковых структур, проявление квантовых эффектов при уменьшении размеров элементов на чипе. Возможным решением является создание низкоразмерных структур из области сверхпроводниковой интегральной криоэлектроники, в основе которых лежат свойства слабых связей (джозефсоновских контактов), а также их комбинация с магнитными материалами. На данный момент разработана технология формирования джозефсоновских переходов в виде планарных многослойных структур, получаемых различными методами вакуумного напыления. Однако латеральные размеры этих структур могут превышать десятки микрон, что накладывает ограничения на их использование в качестве логических элементов микрочипа. Альтернативным методом создания элементов является использование электрохимического осаждения. Джозефсоновский контакт можно сформировать при получении металлических нанопроволок темплатным электроосаждением. Параметрами осаждения и выбором темплата (матрицы) можно варьировать размеры, структуру, состав и морфологию нанонитей. В качестве темплата предлагается использовать анодный оксид алюминия (АОА), который характеризуется высокой плотностью расположения пор (до 1011 штук/см2), и параметры которого можно легко варьировать, изменяя условия анодирования. Нанонити состоящие из In, имеющего температуру сверхпроводящего перехода 3,4 К, представляют интерес как сверхпроводящие проводники при температурах жидкого He. В дальнейшем планируется осаждение In нанопроволок с вставками функциональных слоев нормальных или ферромагнитных металлов, которое позволит создать компактные логические элементы для сверхпроводниковой микроэлектроники. Как самостоятельные объекты, In нанопроволоки представляют фундаментальный интерес в связи с возможностью наблюдения перехода из сверхпроводящего состояния 1 рода в сверхпроводник 2 рода, в том числе с помощью прямой визуализации вихревых токов методом магнитно-силовой микроскопии. Целью данной работы является получение In нанопроволок и изучение их морфологии и структуры.