![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Исследованы образцы покрытий, полученные с помощью мишений на основе хрома и наноалмазов детанационного синтеза с помощью методов рентгеновской дифрактометрии, метода комбинационного рассеяния и методов определения их механических и трибологических характеристик. Определен фазовый состав покрытий, размер областей когерентного рассеяния (ОКР) для наблюдаемых фаз и величины микронапряжений. Установлено, что структура покрытий, наносимых магнетронным распылением хром-наноалмазных мишеней, носит композиционный характер и представлена фазами, образованными в результате взаимодействия компонентов мишени друг с другом и с активными газами, входящими в состав рабочей атмосферы напыления. Композитная структура покрытий формируется на основе металлического хрома и его фаз; свободный углерод присутствует в виде отдельных изолированных включений микронного размера и существенного влияния на функциональные свойства покрытий не оказывает.