ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИПМех РАН |
||
Разработана технология формирования затопленных струй воздуха круглого поперечного сечения, остающихся однонаправленными на длине, равной 5 – 6 диаметрам струи, при достаточно больших числах Рейнольдса (~ 2000 – 13000). Показана эффективность защиты объектов микроэлектроники, находящихся в подобных струях, от воздействия окружающей среды. Разработанная технология может быть использована для создания локальных чистых зон, не ограниченных твёрдыми стенками, в производстве микроэлектроники.