|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Методы изготовления наноструктур на основе Кремния-на-Изоляторедоклад на конференции
- Авторы: Крупенин В.А., Амитонов С.В., Преснов Д.Е.
- Конференция : Электронно-лучевая литография на оборудовании Raith GmbH: от идеи до реализации, Научно-практический семинар
- Даты проведения конференции: 2012
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Президентский зал РАН, Москва, Россия, 28 мая, Russia
- Добавил в систему: Преснов Денис Евгеньевич