Сравнительный анализ влияния источников постоянного и ВЧ напряжения на плотность ионов в комбинированном радиочастотном разрядедоклад на конференции
-
Автор:
Шишкин А.Г.
-
Международная Конференция :
Тихоновские Чтения
-
Даты проведения конференции:
21-27 октября 2017
-
Дата доклада:
25 октября 2017
-
Тип доклада:
Устный
-
Докладчик:
Шишкин А.Г.
-
Место проведения:
МГУ, Russia
-
Добавил в систему:
Шишкин Алексей Геннадиевич