|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
The charging of PMMA-film resist in electron beam lithographyдоклад на конференции
- Авторы: Евстафьева Е.Н., Татаринцев А.А., Рау Э.И.
- Международная Конференция : Micro- and Nanoelectronics – 2012
- Даты проведения конференции: 2012
- Дата доклада: 3 октября 2012
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Москва - Звенигород, Россия, Russia
- Добавил в систему: Татаринцев Андрей Андреевич