Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Очистка поверхности кремневых пластин от фоторезиста в производстве интегральных схем
доклад на конференции
Авторы:
Колесник В.В.
,
Попович М.П.
,
Ткаченко С.Н.
,
Сотников В.С.
Международная Конференция :
Вторая Всесоюзная конференция «Озон. Получение и применение»
Даты проведения конференции:
2-6 сентября 1991
Дата доклада:
6 сентября 1991
Тип доклада:
Стендовый
Докладчик:
не указан
не указан
Колесник В.В.
Попович М.П.
Ткаченко С.Н.
Сотников В.С.
Место проведения:
Russia
Добавил в систему:
Ткаченко Сергей Николаевич