Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Understanding the interaction mechanisms between amorphous carbon sacrificial patterning material and H2 plasma to enable area-selective ALD processes
доклад на конференции
Авторы:
Zyulkov I.
,
Voronina E.N.
,
Chan BT
,
Armini S.
,
Rakhimova T.V.
,
De Gendt S.
,
Mankelevich Yu A.
Международная Конференция (Семинар (workshop)) :
Plasma Etch and Strip for Microtechnology workshop (PESM 2019)
Даты проведения конференции:
20-21 мая 2019
Дата доклада:
20 мая 2019
Тип доклада:
Устный
Докладчик:
Voronina E.N.
не указан
Zyulkov I.
Voronina E.N.
Chan BT
Armini S.
Rakhimova T.V.
De Gendt S.
Mankelevich Yu A.
Место проведения:
Гренобль, France
Добавил в систему:
Воронина Екатерина Николаевна