ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИПМех РАН |
||
Проведено классическое молекулярно-динамическое моделирование напыления тонкой пленки, состоящей из чередующихся плотных и пористых слоев. Рассчитаны структурные параметры пленки. При моделировании отжига напыленной пленки найдено, что концентрация основных точечных дефектов заметно уменьшается во всех слоях пленки. На основе корреляций между плотностью и показателем преломления получено, что величина показателя преломления варьируется от 1.3 до 1.49, достигая минимального значения в слоях с максимальной пористостью. Такие слои могут быть использованы при конструировании многослойных оптических покрытий, обеспечивающих пропускание и отражение света в заданных диапазонах длин волн.