ИСТИНА

Одним из важнейших условий успешной реализации метода химического осаждения из пара металл-органических соединений (MOCVD) является контроль подачи летучих прекурсоров в зону осаждения. В представленной работе для этого предложено новое технологическое решение, основанное на том, что хлопчатобумажная нить, перематываемая с бобины на бобину, последовательно проходит через органический раствор прекурсоров, находящийся вне вакуумируемого реактора MOCVD, и две вакуумируемые зоны раздельного испарения растворителя и прекурсоров. Пары последних вместе с газом- носителем (Аr) поступают в зону осаждения. Предложенный принцип открывает дополнительные возможности управления скоростью поставки прекурсоров за счет а) концентрации раствора прекурсоров, б) скорости протяжки нити и в) изменения абсорбционной способности нитей разной толщины и плетения. Свободный доступ к раствору прекурсоров и возможность его изменения в ходе осаждения позволяет осаждать различные слоистые гетероструктуры и пленки с градиентом состава.