ИСТИНА

В последнее время наиболее доступным и перспективным устройством для анализа газовых смесей являются резистивные сенсоры. Они фиксируют изменение электрического сопротивления электропроводящего слоя при изменении газового состава среды. Для расширения спектра областей применения получаемых сенсоров важно снизить рабочую температуру. Это необходимо и для снижения требований к материалам конструкции. Нами были исследованы оксиды в системе In2O3‒SnO2 (ITO). Благодаря высокой электропроводности они применяются в качестве прозрачных электродов, а их газочувствительные характеристики мало изучены. Традиционными методами синтеза ITO трудно получить равномерные тонкие плёнки нужного химического состава и требуемой геометрии. В свою очередь, используемые нами золь-гель технологии позволяют получать однородные структуры сложного химического состава и нужной геометрии. Эта технология основана на применении в качестве прекурсоров гидролитически активных гетеролигандных координационных соединений металлов в комплексе с печатными технологиями, обеспечивающими локальность нанесения получаемых структур и воспроизводимость их свойств по всей площади. Использование печатных технологий позволит получать структуры заданной геометрии на различных поверхностях. Таким образом, целью данной работы было изучение процесса золь-гель синтеза оксидов в системе In2O3‒SnO2 в виде тонкоплёночных структур с использованием плоттерной печати, а также изучение их сенсорных характеристик.