|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Изучение особенностей травления кремния в растворах HF-HNO3-H2O при пониженных температурахдоклад на конференции
- Автор: Конаков А.О.
- Всероссийская Конференция : III КОНФЕРЕНЦИЯ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО ОБЩЕЙ И НЕОРГАНИЧЕСКОЙ ХИМИИ
- Даты проведения конференции: 2013
- Дата доклада: 17 апреля 2013
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Конаков А.О.
- Место проведения: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН, Russia
-
Аннотация доклада:
Исследование влияния пониженной температуры на кинетику растворения поверхности Si (001) в растворах HF–HNO3–H2O с целью поиска новых способов контроля микро- и нано-морфологии результирующих поверхностей
- Добавил в систему: Конаков Артем Олегович