ИСТИНА

Пленки и покрытия на основе карбидов и нитридов переходных металлов широко используются в машиностроении, микроэлектронике, медицине и других областях для повышения прочностных характеристик материалов, защиты поверхности от коррозии, улучшение дизайна изделий и т.д. [1-2]. Перспективным методом формирования покрытий и пленок с заданными свойствами является методы ионно-лучевой обработки [3]. В частности метод ионно-лучевого перемешивания, позволяющий получать наноразмерные покрытия с высокой адгезией к подложке [4]. Несмотря на исследования в этом направлении, процессы формирования наноразмерных углеродных и углеродно-карбидных покрытий на металлических поверхностях при ионно-лучевом перемешивании изучены недостаточно. В связи с этим, целью данной работы являлось исследование морфологии поверхности, химического и фазового состава, межатомных химических связей, атомной структуры и механических свойств (микротвердость) углеродных пленок, сформированных на поверхности титанового сплава ВТ6 методом магнетронного напыления с последующей ионно-лучевой обработкой потоком высокоэнергетических ионов Ar+. В работе выявлено, что ионно-лучевое перемешивание приводит к формированию на поверхности пленки разупорядоченной структуры углерода, находящегося преимущественно в sp2 гибридизованном состоянии. В межфазной области происходит образование нестехиометрических структур карбидов титана. Образование разупорядоченной структуры углерода и карбидов титана обуславливает упрочнение поверхностного слоя и, как следствие, увеличение микротвердости в 2 и более раза. Рост микротвердости связан со сформированным в результате перемешивания слоем, а не влиянием облучения на подложку из титанового сплава.