ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИПМех РАН |
||
В последнее время растет интерес научного сообщества к тонкопленочным оксидным гетероструктурам. Причина этого состоит в том, что в гетероструктурах обычно реализовываются новые функциональные свойства, не являющиеся простой суммой свойств отдельных слоев гетероструктуры. В данной работе предлагается принципиально новое устройство подачи летучих металл-органических прекурсоров в МОCVD системы, позволяющее эффективно и относительно просто получать тонкопленочные оксидные гетероструктуры.