ИСТИНА

Представлены результаты зондовых, спектральных и теоретических исследований параметров плазмы Ar ВЧ индукционного разряда в реакторе с удаленным источником плазмы. С использованием зондового метода показано, что с увеличением давления от 1 до 12 Па температура электронов уменьшалась от 3.7 эВ до 2.8 эВ, а плотность плазмы уменьшалась c 3.6 х1011 см3 до 0.7х1011 см3. Результаты моделирования параметров плазмы в реакторе в диффузионно-дрейфовом приближении находились в согласии с экспериментальными данными. Спектральные измерения показали, что в зависимости от давления максимум интенсивности излучения линий атомов Ar в видимой области наблюдался при Р ~4 Па. Расчеты относительной интенсивности излучения атомов Ar с использованием радиационно-столкновительной модели показали удовлетворительное согласие с данными спектральных измерений.