|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Оценка адгезионных свойств поверхностей кремниевых пластин после химического травлениядоклад на конференции
- Авторы: Цуканов И.Ю., Муравьева Т.И., Шкалей И.В.
- Международная Конференция : XIII Международной научно-технической конференции "ТРИБОЛОГИЯ - МАШИНОСТРОЕНИЮ"
- Даты проведения конференции: 14-16 октября 2020
- Дата доклада: 14 октября 2020
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: ИМАШ РАН, Россия
- Добавил в систему: Муравьева Тамара Ивановна
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Программа конференции | Programma-Tribomash-2020-v2.pdf | 454,2 КБ | 25 ноября 2020 [Tamara55] |