|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
СТРУКТУРНЫЕ ОСОБЕННОСТИ И ТРИБОЛОГИЧЕСКОЕ ПОВЕДЕНИЕ КРЕМНИЕВЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ РЕАКТИВНЫМ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ В СМЕСИ Ar–C2H2–N2доклад на конференции
- Авторы: Суляндзига Д.А., Хрущов М.М., Авдюхина В.М., Левин И.С., Кашуркин Е.В.
- Международная Конференция : XIII Международной научно-технической конференции "ТРИБОЛОГИЯ - МАШИНОСТРОЕНИЮ"
- Даты проведения конференции: 14-16 октября 2020
- Дата доклада: 15 октября 2020
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: ИМАШ РАН, Россия
-
Аннотация доклада:
Представлены результаты комплексного исследования структурно-фазового состояния и функциональных свойств вакуумных покрытий, полученных реактивным магнетронным распылением кремниевых мишеней. Установлено, что трибологические свойства этих покрытий существенно выше, чем у PACVD покрытий, легированных кремнием и кислородом.
- Добавил в систему: Авдюхина Валентина Михайловна