|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Numerical solution of three-dimensional Poisson equation for the electric field potential in the presence of set of conductorsдоклад на конференции
- Авторы: Смирнов А.П., Шеина Е.А., Shin J., Oh J.J., Шмелев А.Б.
- Конференция : Europhysics Conference on Computational Physics
- Даты проведения конференции: 2001
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Aachen ,Germany, Germany
-
Аннотация доклада:
Численное решение для уравнения Пуассона для электрического поля в присутствии проводников сложной геометрии. Эффект нотчинга требует расчета электрического поля для понимания траекторий ионов, которые производят травление подложки. Из-за процесса травления геометрия проводников становится весьма сложной, что требует определенного усложнения подхода при численном расчете параметров электрического поля.
- Добавил в систему: Шмелев Алексей Борисович