|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Изучение совершенства поверхности полупроводниковых кристаллов после микро и нанополирования методом обратного резерфордовского рассеяния (РОР) ионовдоклад на конференции
- Авторы: Артемов А.С., Куликаускас В.С., Рузавин И.Г., Черных П.Н., Фарафонов С.Б.
- Международная Конференция : XL Международная конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами. Москва. 25 -27 мая 2010 г. С.60.
- Даты проведения конференции: 2010
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Москва, Russia
- Добавил в систему: Черных Павел Николаевич