|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Механизмы улучшения качества кристалличности слоев кремниядоклад на конференции
- Авторы: Шемухин А.А., Балакшин Ю.В., Черныш В.С.
- Международная Конференция : ХLIII международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва 28 мая – 30 мая 2013
- Даты проведения конференции: 2013
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Москва, Россия, Russia
-
Аннотация доклада:
Представлено экспериментальное изучение влияния параметров имплантации (энергия, доза, а также температура мишени) на характеристики активного слоя кремния. Сделаны выводы о механизмах улучшения кристаллической структуры после ионного облучения и последующей твердофазной рекристаллизации
- Добавил в систему: Шемухин Андрей Александрович