ИСТИНА

Существует проблема накопления углерода на поверхности образца при использовании для исследований электронного пучка. Поверхностный углерод дает заметный вклад в спектры, при этом отклики перекрываются с основным составом образца затрудняя анализ спектров. На данный момент основным инструментом для очистки поверхности является ионное травление, которое позволяет избавиться от поверхностного углерода. Однако существенным недостатком ионного травления является его влияние на структуру и химический состав поверхности. В настоящей работе проведено исследование локальной атомной структуры тестового объекта – оксида титана (TiO2, анатаз). Методом просвечивающей электронной спектроскопии получены спектры энергетических потерь электронов. Проведен анализ протяженной тонкой структуры (ExEELFS – Extended Electron Energy Loss Fine Structure). При анализе экспериментальных данных было выяснено, что кроме титана и кислорода, существенный вклад дает поверхностный углерод, который накапливается в течении эксперимента под воздействием электронного пучка. Было проведено численное моделирование спектра энергетических потерь электронов в области 520-620 эВ. Предложена методика обработки спектров протяженных тонких структур энергетических потерь электронов с учетом вклада поверхностного углерода и получены параметры локального атомного окружения кислорода и титана – длины химической связи О-О, Ti-O, Ti-Ti, соответствующие координационные числа и фактор Дебая-Валлера. Предложенная методика обработки спектров с учетом вклада поверхностного углерода, позволяет проводить исследования локальной атомной структуры, без дополнительного ионного травления поверхности образцов. Работа выполнена по плану НИР №121030100002-0.