Гибридная плазменная система с источником геликонного разрядадоклад на конференции
-
Авторы:
Вавилин К.В.,
Кралькина Е.А.,
Неклюдова П.А.,
Петров А.К.,
Сологуб В.А.,
Павлов В.Б.,
Айрапетов А.А.,
Одиноков В.В.,
Павлов Г.Я.,
Никонов А.М.
-
Международная Конференция (Выставка) :
XI международная научно-техническая конференция «Вакуумная техника, материалы и технология»
-
Даты проведения конференции:
12-14 апреля 2016
-
Дата доклада:
12 апреля 2016
-
Тип доклада:
Устный
-
Докладчик:
не указан
-
Место проведения:
Москва, КВЦ «Сокольники», Russia
-
Добавил в систему:
Неклюдова Полина Алексеевна