Кристалл датчика давления с электрической схемой тензочувствительного дифференциального каскада с отрицательной обратной связью для диапазона до 5 кПа - доклад на конференции | ИСТИНА – Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных

Автор: Басов М.В.
Всероссийская с международным участием Конференция : XII Международная научно-техническая конференция «Микро- и нанотехнологии в электронике»
Даты проведения конференции: 31 мая - 6 июня 2021
Дата доклада: 2 июня 2021
Тип доклада: Стендовый
Докладчик: не указан
Место проведения: п. Эльбрус, Москва, Russia
Аннотация доклада:
Разработан и исследован высокочувствительный(S = 11,2 ± 1,8 мВ/В/кПа с погрешностью по нелинейности 2KNL = 0,15 ± 0,09 %/FS) малогабаритный (4,00х4,00 мм2) кремниевый кристалла датчика давления (ДД) с использованием новой электрической схемы для микроэлектромеханических систем (МЭМС) в виде дифференциального каскада с отрицательной обратной связью (ТДК с ООС) для измерения дифференциального диапазона до 5 кПа. Продемонстрировано преимущество по массиву выходных характеристик, доказывающих актуальность представленной разработки, относительно современных мировых разработок датчиков давления для данного диапазона давления.
Добавил в систему: Басов Михаил Викторович

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИПМех РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИПМех РАН

Прикрепленные файлы