![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
В докладе представлены результаты моделирования высокочувствитель-ного элемента датчика давления, выполненного в виде кремниевого кристалла МЭМС. Разработаны схемотехнические и технологические аспекты построения термостабильной системы, основанной на функционировании электрической схемы дифференциальный каскад с отрицательной обратной связью. Проведен срав-нительный анализ по тензочувствительности относительно аналогов с электри-ческой схемой резистивного моста Уитстона.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Полный текст | 522_-_Basov._Doklad._2018.docx | 936,7 КБ | 6 августа 2021 [BasovMikhail] | |
2. | Презентация | 522_-_Basov._Prezentatsiya._2018.pptx | 7,8 МБ | 6 августа 2021 [BasovMikhail] |