ИСТИНА

В настоящей работе исследуются оптические свойства окисленных наноплёнок из сплава Ni-Fe-Mo, широкое распространение которого обусловлено его уникальными свойствами, а именно: малая коэрцитивная сила, малая магнитная анизотропия, высокая магнитная проницаемость и т.д. Известно, что условия изготовления наноплёнок могут влиять на их микро- и наноструктуру. Так оптические свойства тонких металлических плёнок, отожжённых в атмосфере, значительно меняются. Определение оптических и структурных параметров материала отдельной плёнки является главным фактором в разработке функциональных покрытий и устройств. В данной работе была изготовлена серия образцов наноплёнок Ni-Fe-Mo толщиной 10 нм, подверженных отжигу при различных температурах. С помощью методов микроскопии получены изображения поверхности наноплёнок, на которых наблюдается образование частиц микронного и субмикронного размера с ростом температуры отжига. Методом спектроскопической эллипсометрии обнаружены изменения разности фаз между p- и s- поляризованным отраженным излучением с большей крутизной наклона относительно исходной наноплёнки в широком диапазоне углов падения. Такое поведение разности фаз может найти применение в сенсорных приложениях. В измеренных частотно-угловых спектрах отожжённых образцов обнаружены резонансные особенности, связанные с необычным отражением p- поляризованного света (спектрально-зависимая аномалия угла Брюстера). В работе приведен анализ условий зарождения данных особенностей, представлена модель для интерпретации физической природы данного эффекта. Приведены спектры отражения и пропускания, спектры эллипсометрических параметров ѱ и ∆, изображения поверхности.