ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИПМех РАН |
||
В работе представлен обзор экспериментальных данных, отражающих суть эффекта формирования структурных повреждений в КМОП-матрице при воздействии протонов низкой интенсивности (5Е+05 п/см2) с различными энергиями — 50, 100, 150 и 200 МэВ. Облучение образцов проводилось с помощью комплекса протонной терапии «Прометеус». Ключевые слова: структурные повреждения; «белые» дефекты; КМОПматрица; протоны; низкоинтенсивное облучение; оптоэлектронные устройства