Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Изучение оптических спектров плазмы тлеющего разряда при осаждении тонких пленок
доклад на конференции
Авторы:
Полушкин В.М.
,
Тимофеев М.А.
,
Суетин Н.В.
,
Самородов В.А.
Международная Конференция :
X Международная Научно Техническая Конференция. Тонкие пленки в электронике
Даты проведения конференции:
1994
Тип доклада:
не указан
Докладчик:
не указан
не указан
Полушкин В.М.
Тимофеев М.А.
Суетин Н.В.
Самородов В.А.
Место проведения:
Москва-Йошкар-Ола, Россия, стр. 14-18, Russia
Добавил в систему:
Самородов Владимир Анатольевич