ИСТИНА

Методы ионно-лучевой и ионно-плазменной обработки, имея ряд принципиальных преимуществ по сравнению с традиционными методами химико-термической обработки, получили активное развитие в области модификации поверхностных слоев металлов и сплавов с целью повышения их прочностных свойств [1, 2]. В дополнение к классическим преимуществам ионной обработки (возможность превышение предела растворимости, контроль глубины распределения примеси, возможности селективной обработки участков деталей и т.д.) в последнее десятилетие удалось добавить и совершенно новые методики воздействия на приповерхностные слои материалов. В частности, с помощью формирования на поверхности мишени, одного или нескольких слоев других материалов нанометрового диапазона толщин, и их последующей ионной обработкой высокоэнергетическими частицами, удалось сформировать новые соединения и фазы в поверхностных слоях [3, 4]. В данной работе, методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, атомной силовой микроскопии и измерения нанотвердости проведено исследование морфологии поверхности, формирования химического состава и изменения физико-механических характеристик поверхностных слоев многослойных плёнок Ti/Al на поверхности титана ВТ1-00 в зависимости от дозы облучения ионами аргона (5·1015 ион/см2, 1016 ион/см2, 5·1016 ион/см2 и 1017 ион/см2).