ИСТИНА

Была разработана установка для проведения CVD синтеза пленок, состоящих из наноструктурированных кристаллитов дихалькогенидов переходных металлов (ДПМ). Разработанная установка CVD синтеза позволяет использовать различные методы подачи в газовую фазу прекурсоров, участвующих в дальнейшем вреакции CVD синтеза. Были проведены серии экспериментов по осаждению пленок ДПМ, отличающихся друг от друга способом подачи прекурсоров, выбором материала подложки, температурой подложки и газовой фазы. Были получены пленки различных морфологий и представлена зависимость морфологии пленки от параметров роста. Исследования проводились в том числе с использованием встроенного в камеру синтеза атомно-силового микроскопа.