ИСТИНА

Кремниевые нанонити (КНН), изготовленные методом металл-стимулированного химического травления (МСХТ), проявляют такие свойства, как фотолюминесценция в видимом и инфракрасном диапазонах спектра, низкий коэффициент отражения в видимом диапазоне спектра и усиление комбинационного рассеяния света по сравнению с исходной подложкой кристаллического кремния [1]. В подавляющем большинстве работ в методе МСХТ в качестве катализатора химических реакций используются серебряные наночастицы, осаждённые химическим способом из раствора, содержащем AgNO3 и HF. В настоящей работе КНН были получены МСХТ, где в качестве катализаторов химической реакции выступали наночастицы Au. Для травления были использованы пластины монокристаллического кремния p-типа проводимости, кристаллографической ориентацией (100) и различным удельным сопротивлением. Структурные свойства КНН исследовались с помощью сканирующей (CarlZeiss SUPRA 40 FE-SEM) и просвечивающей (Zeiss Libra200FE) электронной микроскопии для контроля размеров, формы и пористости полученных образцов. Были измерены спектры отражения полученных образцов в ближнем и среднем ИК диапазонах, а также спектры полного отражения для контроля поверхности образцов, а также для получения интерференционной картины, которая, в зависимости от толщины слоя нанонитей и их морфологии, может быть в видимом, ближнем ИК или среднем ИК диапазонах спектра. По интерференционной картине рассчитан эффективный показатель преломления и оценена пористость получившихся образцов по модели эффективной среды. Изучение межзонной фотолюминесценции и комбинационного рассеяния света КНН было выполнено для контроля кристалличности структуры и усиления локальных полей, которые выражаются в увеличении интенсивности как комбинационного рассеяния света, так и интенсивности межзонной фотолюминесценции, а изучение видимой фотолюминесценции позволило сделать выводы о наличии кремниевых нанокристаллов и их количестве на поверхности и в объеме кремниевых нанонитей, а также оценить их размер. Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда № 22-72-10062, https://rscf.ru/project/22-72-10062/. Литература 1. Osminkina LA, Gonchar KA, Marshov VS, Bunkov KV, Petrov DV., Golovan LA, Talkenberg F, Sivakov VA and Timoshenko VYu. NRL, 2012, 7:524.