|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
СТРУКТУРА И СВОЙСТВА ТАНТАЛОВЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ ПО БЕЗВОДОРОДНОЙ ТЕХНОЛОГИИ CVDдоклад на конференции
- Авторы: Лубнин А.Н., Ладьянов В.И., Сапегина И.В., Файзуллин Р.Р., Трещев С.Ю.
- Международная Конференция : IX Международная конференция с элементами научной школы для молодежи "Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества"
- Даты проведения конференции: 3-7 октября 2022
- Дата доклада: 3 октября 2022
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Лубнин А.Н.
- Место проведения: Суздаль, Russia
-
Аннотация доклада:
Using hydrogen-free CVD technology in the TaBr5-Cd-He system, pure tantalum coatings with high protective corrosion properties and high adhesion strength to the substrate were obtained. The formation in SF in α-Ta and the formation of the metastable β-Ta phase are discussed in connection with the kinetics, deposition mechanisms, and protective properties of the resulting coating.
- Добавил в систему: Лубнин Алексей Николаевич